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在材料科學(xué)、微電子制造以及精密機械加工等多個領(lǐng)域,對表面微結(jié)構(gòu)的研究和分析至關(guān)重要。其中,凹坑的平均深度是一個關(guān)鍵參數(shù),對于評估材料性能、產(chǎn)品質(zhì)量等具有重要意義。而三維形貌儀作為一種先進的測量分析儀器,在計算凹坑平均深度方面發(fā)揮著不可替代的...
納米壓印機是一種非常靈活的壓印設(shè)備。它可提供加熱型納米壓印、UV紫外納米壓印以及真空納米壓印。模塊化系統(tǒng)可根據(jù)特定需求輕松配置,體積小,容易存放,大可處理210mm圓形的任何尺寸印章和基材。該系統(tǒng)是手動裝卸印章和模板,但所有處理器都是全自動的,軟件用戶可以*控制壓印過程。該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并可選擇背面對準。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻。納米壓印機提供快速的處理和重新安裝工具,以改變用戶需求,光刻和...
近年來,隨著儀器行業(yè)的不斷發(fā)展,多波段橢偏儀在市場上得到了快速地發(fā)展。由于其突出的表現(xiàn),受到了廣泛用戶的青睞。目前本產(chǎn)品可以適用于超薄膜,與樣品非接觸等,下面我們就來具體的了解一下這款儀器!在多波段橢偏儀的測量中使用不同的硬件配置,但每種配置都必須能產(chǎn)生已知偏振態(tài)的光束。測量由被測樣品反射后光的偏振態(tài)。這要求儀器能夠量化偏振態(tài)的變化量ρ。有些儀器測量ρ是通過旋轉(zhuǎn)確定初始偏振光狀態(tài)的偏振片。再利用第二個固定位置的偏振片來測得輸出光束的偏振態(tài)。另外一些儀器是固定起偏器和檢偏器,而...
接觸式光刻機是一種用于信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué)、能源科學(xué)技術(shù)、電子與通信技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗儀器。主要構(gòu)成:主要由對準工作臺、雙目分離視場CCD顯微顯示系統(tǒng)、LED曝光頭、PLC電控系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)、真空管路系統(tǒng)、直聯(lián)式真空泵、二級防震工作臺和附件箱等組成。接觸式光刻機的使用原理:其實在我國對于接觸式光刻機,曝光時掩模壓在光刻膠的襯底晶片上,其主要優(yōu)點是可以使用價格較低的設(shè)備制造出較小的特征尺寸。我們也許不知道接觸式光刻和深亞微米光源已經(jīng)達到了小于0.1gm的特征尺寸,常用的光源分辨率...
硬化涂層膜厚儀是一款快速、準確測量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案,要求的光斑尺寸小到幾個微米,如微圖案表面,粗糙表面及許多其他表面。它可以配備一臺計算機控制的XY工作臺,使其快速、方便和準確地描繪樣品的厚度和光學(xué)特性圖。工作原理:本產(chǎn)品采用電磁感應(yīng)法測量涂層的厚度。位于部件表面的探頭產(chǎn)生一個閉合的磁回路,隨著探頭與鐵磁性材料間的距離的改變,該磁回路將不同程度的改變,引起磁阻及探頭線圈電感的變化。利用這一原理可以精確地測量探頭與鐵磁性材料間的距離,即涂層厚度。硬化涂層膜厚儀的符合...
去膠工藝是微加工過程中一個重要的過程,在電子束曝光,紫外曝光等微納米加工工藝后,都要對光刻膠進行去除或打底膜處理。光刻膠是否去除干凈對樣片是否有損傷等問題,將直接影響后續(xù)工藝的順利完成。等離子去膠性能出色的組件和軟件,可對工藝參數(shù)進行精確控制。它的工藝監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集軟件可實現(xiàn)嚴格的質(zhì)量控制。該技術(shù)已經(jīng)成功的應(yīng)用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學(xué)器件、光電、EMS/MOEMS、生物器件、LED等領(lǐng)域。產(chǎn)品具有去膠快速*;對樣片無損傷;操作簡單安全;設(shè)計緊湊美觀;產(chǎn)品性價比高等...